HSDS系列研磨液供给系统选取客造化、 ？榛杓，配置矫捷，拥有实时、高精度在线配比系统，可实现浓度、流量、压力等参数关环节造，满足半导体造作过程中湿法工艺设备的研磨液等供给需要，操作守护便捷，拥有高靠得住性、安全性和低守护保养成本，配置矫捷蹬着点。
客造化 ？榛杓，配置矫捷
操作守护便捷
实时高精度的在线化学药液配比，流量、压力参数关环节造
高靠得住性、安全性,低守护成本
